近日，中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機(jī)械有限公司（以下簡稱“石家莊安瑞科”）成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱，標(biāo)志著我國電子氣體儲運(yùn)裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新的突破。
據(jù)了解，該管束式集裝箱由中集安瑞科自主研發(fā)，是一種專用于批量儲運(yùn)磷烷與氫氣混合氣的特種設(shè)備。在半導(dǎo)體制備工藝中，需要經(jīng)常采用一定濃度的磷烷和氫氣混合氣體（屬于電子氣體的一種），目前市面上這類氣體儲運(yùn)主要采用高純度高壓氣瓶（Y-ton氣瓶）、小氣瓶，而此次交付的管束式集裝箱可儲氣13m³，單次運(yùn)輸?shù)膬饬康韧?00個小氣瓶的儲氣量，大幅降低氣體公司的運(yùn)營成本，滿足半導(dǎo)體行業(yè)大量用氣的需求。
同時，由于磷烷與氫氣的混合氣極易燃燒、具有強(qiáng)毒性，該裝備在設(shè)計上做到“零泄露”，在管路與閥門之間完全采用軌道焊接，極大地提高了產(chǎn)品的安全性。
中集安瑞科有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，石家莊安瑞科作為國內(nèi)規(guī)模最大的電子氣體儲運(yùn)裝備供應(yīng)商，多年來在磷烷與氫氣混合氣儲運(yùn)裝備上深入研究，已經(jīng)掌握關(guān)鍵的核心技術(shù)，此次推出大容積管束式集裝箱將進(jìn)一步推動半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，為我國實現(xiàn)“芯片強(qiáng)國”貢獻(xiàn)力量。
